职责业绩:

1. SIC MOSFET工艺平台的开发及客户1相关产品验证

Project Owner,团队中负责1. SIC MOSFET关键工艺流程的开发和验证; 2.客户产品的流片,通过工艺参数的调节及版图的优化来调整Rdson/Vth/BVdss等电性数据以达到客户的需求。

职责业绩:

2. 客户1 28HLP相关产品Porting Project

在团队中负责1. 和母厂inline ,WAT电性( 90% parameter 1sigma ) Matching,如期完成要求; 2. 相关特殊制程PRRB review,类似于以其他成熟产品为基础进行process FMEA 分析。

3. 客户2 28LP Automotive产品制程平台搭建及Ramp up准备

负责产品主要用于汽车导航芯片,包括制程/电性/可靠性/良率、系统等方面全方位验证与分析。汽车产品要求会比其他产品更高,有更高的inline/WAT/CP control的criteria,目前产品已量产,良率稳定。

4. 客户3/4 28HK HPC & HPC+相关Product New Tape Out及Ramp Up

Project owner,Fab第一个HK HPC&HPC+量产的产品,负责从产品的 tape out, pirun到 ramp up,对制程/电性/可靠性/良率等方面全方位检查验证,得到客户的充分肯定,目前两个客户总共7个产品 都在ramp up或者量产。

5. 新平台28HK IO+量产Set up

主要负责shuttle的tape out以及电性相关的分析,并通过CP对device window调整process以及一些改善U%的CIP,shuttle验证成功后,客户已有更多产品跟进。

职责业绩:

1. 40nm FEOL CVD Process owner

主要工作负责:维护FEOL CVD SIN/SION/APF film等相关的process(AA APF,POLY HM SIN & OX,SMT,CESL SIN etc.)稳定性,降低产品的报废率;积极改善工艺的Cp/Cpk, 使Cpk>1.33 ratio提高到98%; 配合fab产能目标,提升FEOL CVD process cycle time及加快新机台的release。

2. 28nm PS FEOL CVD Process owner

当时28nm PS正处于开发阶段,配合研发部门评估FEOL CVD新的工艺,并改良recipe,减少产品defect,提升良率; 28nm PS FEOL CVD Process稳定性的管控。

职业标签

· WAT分析, 良率分析, FMEA, Project handle, NTO导入, 工艺制程window优化, 量产控制,SIC MOSFET

18670388390

qzx880420@163.com

34岁

湖南省长沙市