职责业绩:

为武汉长江存储客户提供现场服务,处理现场TEL Vigus系列刻蚀设备的异常,配合客户解决3D NADA最先进工艺研发issue以及TEL试验机型的性能测试。

工作内容:

1.管理团队完成客户现场新机台的安装与测试;

2.定期对客户量产机台进行工艺检测,收集Gas和RF等数据,保证机台满足量产要求;

3.为客户提供各种技术支持,包括机台故障诊断、Wafer不良分析以及机台升级改造等;

4.针对机台的硬件问题和量产问题设计测试实验快速定位异常并快速解决,保证顺利量产;

5.测试公司先进机台性能,整理性能报告及异常说明。

职责业绩:

作为工艺工程师,配合PIE完成SiC功率器件多晶硅、介质层的淀积和刻蚀,熟悉PECVE、LPCVD和RIE刻蚀反应机理及设备操作,使用机型为TEL 8SE、Lam4520和Lam9400。

工作内容:

1.参与碳化硅功率器件线(SBD&MOSFET)建设,负责CVD和ETCH设备调试和工艺验收;

2.设计方案优化工艺recipe,改善产品性能,并编写工艺指导书;

3.在产线上为技术员提供生产指导,以及现场异常问题的处理;

4.独立负责异常Wafer的分析与改善,针对不良品的提出异常分析及处理;

5.独立负责国产设备的评估、引进、调试及验收工作;