1.职责:蒸镀真空设备sustian management运营工作和PM事项担当 内容:量产中突发性的Issue发生时间应急措施处理,针对顽固性BM设备进行故障分析报告和实验措施,其中Pass/SPD设备搬送不良,Glass过蒸镀问题等问题 成果:设备opprated rate稳定化,设备定期项目规范化;
2.职责:负责Align设备工程参数调试与设定(佳能相机对位) 内容:主要项目有Mask Key Range测试,Plate pre align位置和对位Offset参数设定,Compensation limit数据测试,Glass key pattern recipe设定等 成果:Tact time ;
3.0S↓,提高稼动率,减少Loss,实现Align error sheet量化管理 3.职责:前工程除杂质设备HDC,Plasma等设备管理与定期维修 内容:Ar,He,O2等气体含量比,除静电Recipe管理,Chiller温度冷却液管理,RF power功率/Ramping/pressure设定监控,玻璃导热性不良Pin点检等 成果:通过数据化管理,减少品质belze/暗点不良,Glass表面的DPU下降等;
4.职责:品质Issue问题分析和设备工程参数设定 内容:通过FDC和ECO审理系统设定设备参数Targe线等,部门间的协商实验配合解决品质发生的Issue 成果:完善OCAP/4MCC等监控设备参数Spec线,规范化整理品质数据文件管理.