工作概述:
从事后道半导体设备:减薄抛光一体机的研发设计工作:
核心减薄机器已完成工程样机,12“晶圆减薄极限为18μm。
根据传动需求进行滑轨选型,丝杆选型,电机选型,气电缸选型和水气元器件;
传动设计;
运动分析和力学仿真;
精密超精密机加件设计;
水路气路设计;
工装设计。
产品结构设计:减薄抛光一体机由4个分系统组成,分别为:减薄分系统,抛光分系统,传输分系统,胶膜分系统组成。
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减薄机模块,抛光分系统:设备通过进给机构和磨削轴结构实现对晶圆的逐渐减小厚度,并保证晶圆的光洁度
和厚度均匀性。在该设备,承担设备环境方面的设计、工装设计和调试问题的补救性设计,设计了设备空气静
压主轴的气路结构和冷却水结构,气路结构用于保证空气静压主轴的传动精度,冷却水路用于防止电机的过热
避免因为过热影响电机扭力输出;动平衡工装用于装配前,对磨轮,台盘转接板进行动平衡测试,将部分结构
件调整为G0.4动平衡水平;主导上主轴装配安全隐患的补救性改装设计、进给机构测试刚性不足的补救性设
计、水气电滑环安装接口与主轴电机接口刚性安装造成异响的补救性设计。
传输分系统用于厚晶圆输入后送其他分系统展开生产工艺,并将减薄厚度的晶圆贴膜约束后输出。在该设备,
承担晶圆台盘组合工位、清洗模块,目检模块,框架模块的设计。组合工位利用凸轮/偏心轮结构特点,进行
晶圆找心,寻找晶圆平边以及读取ID,并将同心的台盘和晶圆进行组合吸附;清洗模块用于减薄工艺后,对台
盘晶圆进行清洗吹干,并清洗旧的台盘,由于涉及搬运接口,清洗前后需要保证重复定位精度;目检模块用于
清洗前后抽查目检晶圆的隐裂情况;框架模块为分系统的整体框架结构,框架结构需要减震和水平。
胶膜分系统涉及模块较少,为晶圆减薄贴膜后清洗模块设计。

介绍:致力于智能康复机器人的研发工作
工作概述:
从事医用及家用上肢下肢康复锻炼设备的研发设计工作:
完成并交付企业与武汉同济医院合作肌电上肢设备项目;
完成armassist医用上肢锻炼辅助设备项目的设计任务;
完成康复用中低频电刺激设备项目的设计和开模任务;
完成校企合作用于烧伤外科的皮肤用牵张设备的设计研制项目任务;
完成气电联合电刺激项目的设计和开模任务。
技术概述:涉及机加工、钣金、焊接、注塑、零件表面处理热处理等零件制造技术,以及力学理论计算,设计和
校核,公差和尺寸链等技术。2022年,本人主导的新项目完成情况与研发部其他项目新项目团队结项比为2:0,
新项目结项时交付台套比为8:0;2023年本人离职后至六月,上海司羿研发部半年完成研制的项目为0。
产品结构设计:协调涉及产品的产品需求梳理,完成任务分解,以功能需求等因素为依据,展齿轮开传动零件的理
论设计和热处理方面的设计,以及一般结构支撑件的设计和力学、运动学仿真,采用机加工、钣金、焊接等结构件,
综合整体成本等因素进行电机、结构组件等外购件的选型,完成零部件结构建模并出图,评估样件的设计制造难点,
把控设计进度与方案的合理性,并在设备装配后展开调试等工作,验证出的产品缺陷等因素进行优化和最终定型。
塑料件开模与采购:对涉及到的开模零件进行设计、打样并负责对接模具供应商,协调和配合模具的设计,展开试
模、修模等工作。

公司介绍:致力于大规模工业生产的中高端投影光刻机研发、生产、销售与服务。
阶段说明:
负责国产90nm干式光刻机和28nm湿式光刻机械环境分系统设计研发任务:
完成空气调节模块风机设备的设计任务
• 设备为机箱样式的供气设备,为光刻机提供供气和空气调节作用;
• 根据流体工程师的设计完成管接头和软硬管的设计选型任务,风道设计任务;
• 完成框架结构的焊接件设计和箱体外壁的钣金结构的设计,利用模态分析仿真确定设备的固有频率,改
进固有频率偏低的问题;
• 参与设备总装调试,并根据集成后的技术状态计算设备的重心和倾覆角,根据重心坐标等计算结果,增
加相关配重改进设备的质量分布状态;
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• 完成SEMI问题改进:顶部接水盘,底部接水盘组件的设计。
完成输配模块旋转框架设计任务
• 根据旋转框架所涉及的控制箱以及其他设备的机械接口,完成框架型材的选型和结构布局;
• 利用静力学分析确定旋转框架的最大形变量和应力集中情况,根据分析结果调整型材布局和焊接方式;
• 铰链结构设计和外购件选型;
• 线束拖链的选型;
• 布管布线设计;
完成输配模块底部气浴板组件设计;
完成输配模块旋转框架接水盘组件设计;
完成输配模块电气模块组件(控制箱)设计;
解决顶部控制盒面板开关盖干涉问题;
整机地基接水排水设备的设计;
完成厂务布局图编制,负责设备水气互联装置、集水导流设备设计以及指导现场调试;
环境分系统FMEA编制。
技术概述:涉及机加工、钣金、焊接、零件表面处理热处理等零件制造技术,以及力学理论计算,设计和校核,
公差和尺寸链等技术。
问题改善与优化:优化设计,解决气路气压不足、管路漏水、重心不平衡、结构件开裂等问题,推动项目持续完善。

公司介绍:隶属于中航工业集团,是承担国家航空电器、电子产品研制、生产的专业化重点企业。
职业路径:实习即加入公司,2018 年 4 月正式入职,师从集团一级专家,负责设计研发飞机驾驶舱机载电器设备,主
管产品 52 个,共参与研制产品 80 余个(结构主管),涵盖运输机、反潜机等特种飞机控制面板、直升机告警/提示/注
意级灯盒、战斗机灯盒、亮度控制盒和控制面板组件等。
产品方案制定:参与产品研制技术协议书编制、产品机械接口与电器接口协调以及联合定义,编制产品设计任务书
及详细设计方案。根据协议要求以及相关标准编写安全性、可靠性、耐久性、维修性等六性类设计分析报告以及
FMECA 等技术性文件。
产品设计:主管飞机驾驶舱控制面板组件产品的设计任务、参与告警提示设备以及调光设备的结构设计,完成零件
设计、装配体设计、产品内部元器件及电路板安装接口设计、防差错结构件及促动机构件设计、强度与力学运动学
设计、电磁兼容性和密封性设计。
技术交流与评审:参与产品各设计阶段的评审与鉴定,跨部门、跨专业沟通合作,把控潜在风险,评估设计的合理
性,并负责定型前产品更改与日常技术状态管理、试验大纲编制、技术阶段转型、鉴定报告等工作。
产品仿真与优化:根据强度仿真、运动仿真、热仿真进行改进,擅长解决产品在不同工况下的气密性及散热性能不
足、各模块之间不够协调统一导致结构性损坏、强度不足等问题。
产品工程图出图:负责零件、电器交联关系图以及装配图出图、零件公差配合以及尺寸链的计算与设计。
工艺制定:负责加工以及处理工艺选择、材料选用和金属表面处理、表面粗糙度的确定。
文件编制:编制产品技术说明书、使用维修手册等技术支持性文件以及其他随产品出厂的技术性文件。
技术维护:负责新产品排故并支持生产装配现场,主管特种飞机、直升机产品及控制面板组件、告警灯盒技术维护。
新人带教:先后带教出 3 名合格的研发工程师,在设计任务分配与成果追踪、理论讲解、实战辅导的过程中,自己
对产品和技术的理解更加深刻,同时表达能力、管理能力得到良好的锻炼。