职责业绩:
1.制定干蚀刻设备作业基准书和 SOP。
2.维护设备日常正常运作,减少设备 BM 发生。
3.制定设备 PM 计划,协助装备班进行设备 PM 作业。
4.处理 OCAP 异通内容,及时监控不良发生。
5.利用 FEMA 分析产品不良,推进 EC 改善对策,编写事故报告书。
工作业绩
1. ECCP 设备使用周期延长。
2.参与新设备(PE)搬入及其 SUT UP。
3.PXL_YU 不良通过 Parts 改造,让其 NG 率从 1.2%下降到 0.011%
4.ET_JK 不良通过下部电极改造,使其 NG 率从 0.96%下降到 0.02%