⽬前担任ILD设备当担，负责应材AKT25K设备PM/scrubber保养维护、异常处理和撰写异常报告、产能提升和成本改善，PM计划安排。
1、负责设备维护保养计划，保证机台按时保养不超期；设备故障异常处理（破⽚异常、MFC异常、温控器异常等），确保设备满⾜⼯艺⽣产⼯作；修改TC腔室⼿臂速度提升uptime。
2、对PECVD设备相关的RF系统，⽓体管路系统，温度控制系统以及压⼒控制系统有详细了解；了解相关PECVD薄膜沉积的⼯艺条件，协助⼯艺⼯程师制定相关设备和⼯艺Spec；
3、成本改善：在CVD设备IDLE期间发现scrubber尾⽓处理始终保持high flame（LNG流量为30SLM）⽆法实现high/lowflame⾃动切换。通过对scrubber与CVD机台之间加装信号线，实现将IDLE信号传给scrubber使其可以⾃动切换，将设备在IDLE期间LNG流量降⾄10SLM达到节约天然⽓的⽬的。
4、设备故障排查：在run新产品7mask时susceptor连续报超温宕机导致⽆法连续run货，通过对run货过程中设备温度进⾏监控，调取datalog分析发现每次执⾏clean sea后温度上升1.37℃，cycle 7次后温度到达报警值240℃，进⼀步分析发现clean sea这个recipe中的CLE1/2/3三步上升温度最快，对⽐正常步骤区别为带有power，验证去掉power后执⾏clean sea温度不会持续性上升。

1、从事MOCVD设备相关的维护保养工作,涉及VEECO Epik/、中微A及Back高温炉保养。对设备出现的异常进行
分析判断导致异常原因并提出措施改善;
2、配合MOCVD外延工艺的各项改善实验;
3、能够独立带队进行MOCVD保养作业,培训和指导新员工学习设备操作和维护。