本人主要负责公司系统控制部 的全面工作,主要包括 6、8、12 寸晶圆贴 膜和撕膜设备的研发,主要涉及到机械、 电气控制算法、 软件、图像处理、过程控制 等多学科、交叉的过程控制 、质量管理 和人员管理 。同时亲自做晶 圆贴膜和撕膜设备相关的控制算法软件, 主要包括 针对 12 英寸 大晶圆 搬运 传输 系统 的 Robotobot 机器人 四轴 控制 算法和软件 ,晶圆找心和 V型缺口的Align对准系统四轴控制 算法和软件,晶圆贴膜的 Tape 四轴控制算法和软件 、 晶圆切 膜的 Cut 四轴控制 算法和软件 、晶圆撕膜的 Detape etape 四轴控制 算法和软 件等。 目前系统已经调试好,可以正常对 12 英寸大晶圆贴膜和撕膜,特别是 创造性地解决了12 英寸大晶圆机器手搬运 算法及控制、大晶圆找中心和 和 V型 缺口算法及控制等难题。