主要做光刻相关的配套层材料及配方的研发。包括树脂、小分子单体及添加剂合成、工艺放大、 电子级纯化、配方、分析表征等相关工作。
1、主导旋涂碳层 (SOC) 材料开发 (Tri-layer工艺中必不可少的一款材料):主导开发了一 款常应用广泛的SOC材料,并获得客户验证通过,六个月实现从原材料到可量产阶段;同时还 有一款高平坦化SOC获得客户认可,两款高温S0C开发中;
2、含硅抗反射涂层 (SIARC or S0G) 材料开发:面向特殊应用场景下 (NTD) 普通SIARC显影 后粘附性差的问题,开发了一款关键的硅树脂添加剂,能够极大改善显影后图案倒塌的问题, 该款材料已经获得客户验证通过并初步实现量产;
3、小分子和树脂除金杂:先进制程要求金杂小于1甚至是0.1ppb, 所以需要从原料到产品全程 管控金杂。熟悉小分子和树脂的除金杂方法和光刻材料生产过程中的金杂管控;