工作描述:
一、中高温太阳能选择性吸收涂层PVD连续镀膜线调试量产
1.负责磁控溅射中高温太阳能选择性吸收涂层的调试,确定工艺框架。基材为高硼硅玻璃和不锈钢321、316L。
2.膜层平衡及单膜均匀性调试,通过调整气体和磁场来调节均匀性。涉及仪器 .岛津uv3600,傅里叶红外光谱仪IR Tacer100
3.主导连续镀膜线的工艺调试工作,开发出真空600镀稳定膜层,及空气中400度稳定的膜层工艺,并顺利投产。涉及靶材主要有Al AL2O3 ALN MoWsio2 SiN NiCr Ti Ag. 等
4.负责玻璃清洗、不锈钢清洗、钢管抛光 氧化及真空排气等工序的工艺管控
二、大面积超白玻璃高温反射镜镀膜工艺开发完成
1.曲面超白玻璃镀膜,靶材涉及ZnS (RF)\ZnMgAl\Ag\ NiCr。
2.通过盐雾实验、双85、热循环测试等,确定最终膜层结构和参数
三.氢燃料电池双极板PVD磁控溅射镀膜开发
1.针对氢燃料电池双极板性能要求为耐腐蚀,以及良好的导电性能---低接触电阻进行PVD 镀膜实验。
2.调节气体配方比例,控制氮气氩气比例在合理范围,确保氮化膜致密性和耐腐蚀性、包括溅射压力调节等实验。
3.通过实验不同的材料搭配,三层复合层耐电腐蚀效果、附着力效果及接触电阻控制比较好
4.最外层需要导电性能良好的且耐腐蚀的材料,实验最终采用磁控溅射石墨材料,控制厚度范围、溅射气压等
最终可以将接触电阻控制在<1mΩ.cm²@1.4MPa.。腐蚀电流(当PH值为3时)<5*10- 8A\cm²
5.涉及靶材Ti、TiN、Cr 、Nicr、石墨等,涉及测试仪器主要有精密四探针电阻率测试仪—HPS2661、双极板电阻测试仪RH-450A.
四、光伏HJT 电池片工艺研发
1.负责HJT pecvd镀膜实验及测试,通过调整本征非晶硅层、非晶硅掺杂层比例,氢释比、温度等等跟踪测试电性能。涉及仪器,:少子寿命测试仪、椭偏仪等
2.负责光伏异质结TCO透明导电膜镀膜实验,通过实验分析温度和水汽 气体比例 工艺气压对成膜质量以及对光学性能和电性能的影响。2.常用的靶材主要为ITO,涉及测试仪器主要为四探针方阻仪,霍尔测试仪,椭偏仪,及分光光度计
3.参与印刷工艺,网版类型选型、低温浆料.银包铜工艺等。通过分析不同网版、不同线型对电性能的影响
五.其他工作内容
1.负责PVD磁控溅射镀膜生产线、PVD磁控溅射实验镀膜线设备日常管理,及异常沟通处理
2.制定镀膜线维护保养规范
3.换靶注意事项,现场指导为主
4.对镀膜工序产品性能持续跟进并测试,质量问题及时组织相关人员分析原因提出改善措施推进执行。
5.对镀膜一线人员进行设备工艺基础知识培训,确保安全上岗。
6.对真空镀膜线制定维护保养规范,对常见故障做好相应记录。