汇报对象:科长
下属人数:3
工作描述:
1、主导显示面板新工艺所需设备的设计与制造,主导高精度气浮平台的设计与选型,高精度线轨平台的设计与选型,以及整体设备自动化方案的设计工作;
2、主导自动化整机设备中玻璃上下料结构设计,主导基片载具设计(cassette与smif),主导自动化设备EFEM模组设计,包括扫片方式的实现,晶圆fork设计等;
3、负责自动化整机设备中飞行光路设计,主导飞行光路路径布局设计,主导光路反射镜、衰减片、收束镜、扩束镜、振镜、场镜等标准件选型,实现飞行光路Z轴定位精度±1μm等;
4、主导项目自动化设备结构专利编写,编写专利交底书;负责部门结构设计前瞻性技术研究等工作;
5、主导自动化设备关键部位(如施压件)的力学仿真分析,热仿真分析,流体仿真分析。对设备受力关键部件使用Ansys进行仿真计算,掌握材料形变趋势,判断压力均一性;对设备热源部位使用fluent进行热仿真计算,清晰设备瞬态温度;对封闭腔室进行流体仿真,判断合适的流体注入速度和注入结构;
6、主导自动化设备整体方案编写工作,分析设备整体尺寸链,进行尺寸链的计算工作,优化设备各个模块的精度分配,编写自动化设备DR开发报告。