2016年12月至2019年11月 在厦门天马微电子LTPS产业基地工作,就职于G5.5面板厂薄膜扩散部CVD科, 职务: 10级 。
2019年11月从厦门天马转调武汉天马G6 OLED产业基地 TPOT分部CVD组,职务: 10级 资深CVD工程师。
在厦门天马工作阅历:
一、个人承担主要工作任务:
1、主持CVD设备日常PM保养工作 ;负责设备trouble shooting、进度跟进 ;统筹制定周保、月保、季保、年保计划
2、制定机台pengding issue,进行有规划性的周期保养,提高设备稼动率,使产能最大化。
3、承担设备产能提升任务,满足公司制定的产能需求任务。
4、负责部门备品备件的采购及二供的导入,key patrs下机送修维护管理。
二、主导以及参与一些CVD 主要业绩:
1)通过CLEAN CYCLE 优化能有效防止机台堵片并降低TT。改善措施: 由于CVD机台是DOCKING 模式,IDLE后机台RUN货模式为2/4/6/8能够有效控制CLEAN腔室数,降低赌片几率
2)真空手臂PAD材质改善,由原来的SP202材质改善为耐高温,高摩擦次数的SP5000,能有效防止robot提速过程中的甩片问题,对提升产能起到至关作用;同时降低了PAD粘玻璃导致的破片风险
3)CVD机台产能提升: 通过recipe优化,改善PLS步骤spacing及time,通过低位除静电有效节省了elevaor作动时间,降低tt。
4)PM有效时间改善: 负责部门dummy LID的安装导入及调试,更换diffuser及BP时能提前一天将PARTS安装完毕,复机时直接安装调试即可,能够有效缩短PM时间,提升机台整体产能。
5 )负责分析FSS系统腔室各项参数趋势: 通过大数据分析,极大的改善了机台的TT及uptime,对异常点及时进行预防性处理,对解决trouble shooting 来说是一个有效的辅助工具,同时也降低了几台宕机异常几率。参数监控: load power,slit vavle 开关门时间,气体流量,压力稳定性,depo time,clamp time趋势等等
6)ESD改善: ①在robot手臂上增加导电带;②使用改造款突纹pad,改善效果: 目前静电压测试从最初的800降低到300
三、常见异常处理;
1)slit vavle 开关门异常CASE: ①N2真空管路漏气 ②controller 电路板异常③N2/CDA 电磁阀异常④气缸升降sensor 异常⑤flap door脱落等
2)clamp 异常处理case: ①气缸本体损坏,作动异常②气缸sensor 异常不亮③n2管路漏气作动不到位④电磁阀不能工作
3)破片异常报警case: ①clamp 作动不同步导致偏位破片②玻璃step pad 位置过高导致甩片撞破③center pad 材质异常导致玻璃exchange时玻璃下垂粘玻璃破片④破片sensor 本体异常,或放大器异常报假破片⑤susceptor roller bush pin作动过程中卡顿导致破片⑥sus表面被击穿报arc 导致放点异常,玻璃被击穿破片
4)susceptor 异常case: ①超温报警,热电偶接线脱落/内部热电偶损坏②heater off报警,检测电阻调查发现加热板内部断线③heater off AC报警,调查发现sus内部短路,导致加热线接地④腔室报VDC开腔检查发现grounding line断裂,亦出现过VDC侦测板异常 ⑤chamber报ARC,调查发现sus表面arc
转调武汉天马工作阅历,个人主要承担以下工作任务:
1)负责TPCVD 装机统筹事项及准备工作;
2)机台move in工作安排及统筹
3)机台marking 事项跟进及确认
4)机台二次配,厂务机械,电力施工跟进及统筹
5)特气 turn on统筹跟进
6)跟进主机台TO/T1/T2装机schedule及test
CVD主机台预计2020年4月初完成工艺调试release
满足公司制定的产能需求任务。
4、负责部门备品备件的采购及二供的导入,key patrs下机送修维护管理。