1、负责德国CT设备的PECVD和扩散机台的设备保养维护,掌握设备的运行原理,主要内容包括机械手的调整,炉管漏气,桨位置的调教,炉门调教,加热系统的原理,各种零部件的更换,提高设备的工艺运行时间,从而提高产能。
2、负责梅耶博格MAIA机台和SINA(板P)机台的维护与维修,制定相关的维护流程,以及常见简易故障的处理方法。
3、负责江松上下料自动化机械手的维修,德国JR上下料自动化的维修,罗伯特科自动上下料的维修及相关改善。
4、管P镀膜工艺的改善及研究,改造炉门进气口的直径,增加工艺气体流量,从原来的一舟37分钟工艺降低到31分钟,降低设备工艺运行时间,从而提高产能。
5、PECVD真空泵管路改造,优化真空泵到主机台的管路长度,减少氮化硅在真空泵中沉积,提升真空泵运转寿命。
6、自主真空泵维修,更换真空泵BP轴和MP轴轴承,减少维修成本,真空泵返厂维修需10k,成本减少8k.
7、MAIA机台TM腔体节能降耗的,屏蔽持续加热功能,达到节能降耗的验证。
8、板P机台卡框影响碎片及设备稼动率。改造传输H型单侧传输滚轮为T型传输滚轮。