职责内容:
1. 负责扫描电子显微镜量测机台,编制机台操作规范,解决量测上遇到的问题,评估可替代的部件, 以降低其更换的费用(约100 万每年)。
2. 研究出一种用于SEM机台之间校准的方法,使机台之间的校准有了很好的依据。
3. 在客户反映产品有问题时,能及时制定临时措施,找到造成失效的工序,并制定改善计划,以及再发防止。
4. 进行操作规范的编写,根据实际情况不断的改进操作,并使操作员更方便的进行作业。
5. 改进生产的流程,使半成品在一工序停留的时间降低30%,大大提高了生产能力。
6. 整理报告,监督每周生产线的状况,及时发现问题,并提出改善的建议,直接对厂长负责。
7. 对SPC、CPK、FEMA等质量控制体系较熟悉。
职责业绩:
1. Overlay 问题
异常现象: 部分产品的一些层次Overlay 能力比较差, 容易超过规格, Raw data 的3 sigma 非常大, 其中MAGX与MAGY 相差4, 用SCANNER 将MAGX与MAGY 进行补偿, 可以解决问题, 但是STEPPER 不能分开补值.
改良措施: 检查STEPPER 和SCANNER 的distortion, 没有明显差异. 排除机台问题 检查这些产品的其他层次, 发现只有简单层会有这个问题, 重要层没有这个问题. 排除第一层的问题 发现有问题的层次都是同一家光罩厂商生产的, 其他没问题的层次都不是这家生产的, 这些有问题的光罩在生产时进行了scale (X=-4,Y=0)的补偿, 这是MAGX与MAGY差异的真因.
再发防止: 光罩公司没进行补偿的实验光罩, 经验证, Overlay 恢复正常水平, 知会光罩厂商从此不再进行scale 补偿. 针对于已经出的光罩, 量大的产品重出光罩, 量小的产品换到SCANNER生产.
2. HV.162 制程良率提升
异常现象: HV.162 制程新pilot 良率比其他FAB 差将近4-5%, 良率不佳的位置在wafer 上是随机分布的, 良率不佳的项目与POLY 层次强相关, 用KLA 检 POLY AEI的wafer, 发现SRAM 处有bridge 的现象.
改良措施: 在两个不同的SCANNER 均有发现POLY bridge, 比较怀疑是曝光条件的问题. 检查曝光的条件发现 iso-dense bias 较大, dense的地方容易发生bridge, 通过改变曝光ID的方法来改善iso-dense bias, 使dense 的line 更小, 用KLA 检新曝光条件的wafer, 未发现SRAM bridge.
再发防止: 新曝光条件的良率与其他FAB 没有差异. HV.162 制程的golden rule 改用新ID, 新产品需要进行window check, KLA 检defect.
3. SEMCD量测差异
异常现象: 一台SEMCD 量测大于.3 制程的hole 图型 不用pre_dose 时, 部分点比其他机台小大概20-30nm.
改良措施: 看图型时, 发现CD较小的图型内径处有一个亮环, 而且第一个点发生这种现象的几率较高, 在其他SEMCD上做实验发现, 用了pre_dose 后, 均有亮环出现. 发现有问题的那台SEMCD 在OM对准后, 不能自动跑到量测位置, 操作员在寻找图型的过程中, 引起了电子的charging. 更换STG X 轴后, 不再发生这种现象.
再发防止: 检查所有SEMCD 的STG 轴, 设置一个lifetime 针对于这个STG 轴, 在每次季保养检查这个parts.
4. SEMCD机台particle issue
异常现象: ADI与AEI KLA检验 均有偶然出现扇形发散的defect,查看历史记录共同机台为SEMCD
改良措施: 经过对defect的分析,为SEMCD定位时,撞击wafer边缘造成的,边缘film破裂,造成扇形defect,临时将SEMCD定位撞击的力度降低。
再发防止: 将SEMCD定位的装置由不锈钢改为塑料。前道thinfilm工序,通过调整,将边缘的film 残留减少。
附加消息
发明: 一种目视检验印刷质量的方法 专利号: CN201910686332.2
发明: 一种基于N型硅片的太阳能电池片的制作方法 专利号: CN201810953786.7
发明: 一种埋栅太阳能电池的等离子刻蚀开槽制作工艺 专利号: CN201110046247.3
实用新型: 一种用于防止PECVD镀膜边缘发红的装置 专利号: CN201120058539.4
实用新型: 一种太阳电池硅片清洗花篮架自动回传装置 专利号: CN201120138083.2
实用新型: 一种防止电池片氧化的包装结构 专利号: CN201220153713.8
实用新型: 一种实现PERC电池后道流水线生产 专利号: CN201621370698.7