1.新型背照式CMOS图像传感器工艺开发
利用硅的微纳结构(光子晶体光波导)代替传统有机光学滤波片,在工作过程中负责模拟仿真(FDTD),代工厂与技术方沟通,设计工艺流程,掩模版设计及制备(L-edit)等主要工作
2.背照式图像传感器(BSI)封装设备选型及工艺路线制定
BSI封装工艺线设备选型,在工作过程中主要参与,封装工艺路线调研制定,设备选型,验收计划制定等工作
相关机台:wafer bond, bevel etch, double-side clean, scrubber, wet etch, back grinding, cmp, etc.
3.先进封装设备选型及工艺路线制定
先进封装(3d-stack,fanout,cowos)工艺线相关设备选型,在工作过程中主要参与,封装工艺路线调研制定,设备选型,验收计划制定等工作
相关机台:TCB die bonder, vacuum oven, 点胶机, etc.
4.压电材料(PZT)材料改性,器件制备和测试。(压力传感器,硅麦)
负责在ULVAC sme-200j平台上进行材料生长和改性。参与后续器件模拟仿真设计(压力传感器,硅麦),工艺开发。同时自主设计无损在线晶圆级PZT材料检测系统,可实现交流阻抗,介电分析,变温分析等功能,利用各种拟合分析手段,可在完全无损的前提下对材料的介电特性,极化特性,传输特性,缺陷特性等进行有效分析,提高材料晶圆产率。
5.红外传感器SMD封装开发
主要负责热电堆红外传感器SMD封装路径设计,材料选择和结构设计。