负责对薄膜设备进行故障排除,提高设备的性能及稳定性,保证设备正常运行
制定和更新设备保养规范与保养周期,及时培训值班人员
协助完成新设备的Movein,包括Mark,汇勘,相关的机台调试
维护日常工艺SPC,配合PIE进行工艺改善,开发新工艺
撰写所属设备的设备故障排查报告和工艺相关的改善报告
负责Bumping中的Sputter工序,用到的工艺有PVD、Descum、Bake
PVD、Descum、Bake设 备的PM
对设备进行DailyMonitor并关注SPC,及时改善设备的工艺状况
当出现异常或设备报警时及时进行处理,保证设备的正常运行
给部分设备新建保养和操作SOP,并及时进行文件的更新
对异常批次进行围追堵截,提供异常报告
PVD、Bake设备的PM
对设备进行日常的Monitor