工作描述: Array工段湿法刻蚀清洗:
1.设备维护标准流程制定,生产运营;
2.设备故障处理,设备搬入Set Up及调试;
3.工艺不良原因调查、分析、处理;
4.设备设施节能;
5.设备参数FDC监控;