1.汞灯电源用于i线光刻机的照明系统, 功率6500W。汞灯电源为模拟和数字混合接口,可以通过 DA 设定电源功率, 电源工作 在电流模式下, 控制器采用 Ti omapl138进行控制, 系统需要保持在一定温度范围内, 因此需要对水冷系统的流速进行控制, 采用变频器控制水泵速度。
2.我主要负责系统架构设计,电气原理图绘制,通信协议制定,基于 omapl138的嵌入式软件开发,汞灯电源控制实验,电光 功率转换分析, 环境保障系统搭建,互锁和保护逻辑的设计。 :
完成了汞灯电源控制器的系统架构设计
完成了嵌入式软件设计
完成了点灯实验
完成了电气原理图设计和所有文档的输出