岗位职责:扩散工艺模块生产质量日常监控及异常情况处理;新机台的测试与调控;工艺优化项目测试及数据分析。

重点项目:

吹扫气体条件优化项目

项目描述:膜沉积使用的反应气体易分解产生副产物,聚集在炉管的内部构件中。长期累积后以颗粒杂质的形式掉落

在晶圆表面,影响产品的表面结构及下游刻蚀工艺,从而影响良率,导致产品报废。

项目内容:

• 调整生产配方中吹扫气体的时间及流量,减少反应气体分解副产物的残留,颗粒杂质由105降低至基准水平(<102)。

• 修正由于吹扫气体条件改变对成膜性质的影响。通过改变生产配方的相关参数,收集上下游刻蚀数据,保证扩散

成膜性质稳定。

• 通过电学测试,良率测试以及可靠性测试,保证成膜性质满足产品参数要求。

项目难点:生产配方中吹扫气体条件改变会对炉管内不同温区的气体扩散及掺杂效率产生影响,从而改变膜沉积的生

长速率及成膜性质,影响器件的电学性能。

低用量反应气体优化成膜项目

项目描述:BCD工艺成本主要来自于晶种层沉积使用的反应气体。本项目旨在不改变产品工艺参数及各项性能的前提

下,减少成膜反应气体用量,以降低生产成本。

项目内容:

• 减少气体使用流量(~40%),调整生产配方中晶种层沉积的温度及时间(~7.5%),以保证晶种层厚度满足生产要求。

工艺配方优化后,单片晶圆的成本降低 ~13%。

• BCD工艺法成膜,收集成膜的各项参数,通过对比上下游数据,评估成膜性质。

项目难点:晶种层会影响BCD工艺成膜性质,影响下游刻蚀工艺。反应气体用量大幅减少的同时,需要保证成膜各项

参数满足产品要求。

新产品机台量产测试

项目描述:为满足产量需求,新机台需要进行测试与监控,以保证新产品配方满足工艺要求。

项目内容:

• 分析不同产品配方数据,以获得新配方各项参数理论参考值。

• 机台批量测试。通过调整配方参数,降低炉管纵向各温区之间的成膜差异。通过调整升温速率,保证单片晶圆中

成膜厚度分布满足参数要求。

• 监控下游刻蚀数据,保证产品成膜性质一致,检测器件电学性能以满足产品要求。

项目难点:快速熟悉新产品配方特性,保证新机台的配方满足生产参数要求,降低机台间差异对产品一致性的影响。