Flora 项目

· 项目描述: Flora项目是公司承接国家重大专项项目之一;是应用于国产芯片14nm高端半导体专用设备。

· 工作职责:作为项目的主要负责人之一,在Flora设计阶段承担了大量的设计工作,在供应链糟糕的情况下和团队完成设备零件物料跟踪和装配任务,承担设备的调试和问题排查工作,支持工艺团队的工艺开发,主导BOM、SOP、手册、专利发掘等文档文档工作编写。

一、样品杆储存装置

· 项目描述:透射电子显微镜样品杆预抽存储系统由分子泵组、样品杆预抽室及触摸显示屏组成。 适用于各品牌透射电镜样品杆,保证样品杆长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。可升级等 离子清洗和烘烤功能,实现对样品杆的清洗和加热除水。

1. 分子泵组:由进口的普兰德变频隔膜泵和爱德华的分子泵组成,真空度通过爱德华真空规进行读取;

2. 样品杆预抽室:预抽室为塔层结构,最多可以叠加 5 层。每层之间透过蝶阀进行通断,这样设 计可以保证每层之间相互独立,互不影响;

· 项目职责:完成了机构设计和选型了泵,规,触摸屏,以及查询了很多国 内外的技术资料和专利,了解了很多别人的设计想法,最终结合自己的想法,完成了上述的设计

二、电镜冷冻传输系统

· 项目描述:该项目主要提供了快速冷冻,真空传输,冷冻断裂,升华,镀膜,低温氮气冷台模块, 专为场发射 SEM 设计。主要参照 GATAN 和 QUORUM 设计.

1. 真空传输∶样品通过 VTD 进入真空腔体内,配备液氮制冷样品台,通过球阀对接电镜,球阀设 计配备真空检测互锁装置,保护电镜真空不受破坏;

2. 升华∶实测温度精度±0.5℃,升华过程使样品暴露更多超微结构细节;

3. 快速冷冻∶提供真空环境使液氮抽成液氮泥状态,实现样品快速冷冻,保证样品内部不够不被 破坏;

4. 冷冻断裂∶解理刀在几乎接近液氮温度的时候能够断裂样品;

5. 镀膜∶腔体上端配备高真空磁控溅射仪,可以使得不导电样品进入电镜中进行分析;

6. 低温冷台∶直接与 SEM 中五轴样品台契合,通过氮气与液氮的热交换使得冷台在 15min 内快速 到达-185℃;

· 项目职责∶ 本人作为该项目的主要参与者,与同事合作,把各模块功能细化,再进行方案设计, 把握整个项目加工件进度,以及最后的装配调试。

三、拉伸台

· 项目描述:SEM 拉伸台主要用于对各种样品进行拉伸、压缩、弯曲、蠕变(当金属材料在高温条 件下,承受恒定的压力持续一定时间后所产生的强度降低的现象。)和疲劳试验,快速、准确的获 取材料的机械性能:

1. 载荷范围0-5000N;

2. 线性测量精度≤0.1um;

3. 拉伸速率0.1-5mm/min;

4. 可选3点和4点水平弯曲附件;

5. 动态测试台,在SEM内外都能操作;

6. 可选配加热功能;

· 项目职责:确定了机械运动方案、真空设计方案、电路控制方案,统筹项目进度。

TEM样品杆

· 项目描述:该项目一共包含了 5 种 TEM 样品杆(单倾杆,双倾杆,双倾杆真空转移杆 ,3 个或 5 个多孔样品 杆,冷冻样品杆)。

1. 单倾杆:结构相对简单,主要用于常规环境,常规材料的观测;

2. 双倾杆:满足单倾杆所有的功能,同时满足在β方向倾转角最大可达到±28°;

3. 双倾真空转移杆: 透射电镜真空转移样品杆采用可伸缩的样品杆端头设计,从而实现将样品 从真空室或手套箱的真空环境下转移到透射电镜内的目的,避免样品被大气环境影响,在β方 向倾转角最大可达到±28°;

4. 3 个或 5 个多孔样品杆:该设计可以将最多 3 个或 5 个多孔样品同时置入透射电镜中,大大提 高了透射电镜的使用效率,经常用于使用者样品进行筛样。

5. 冷冻样品杆:该设计可以使被观测样品处于液氮低温下,减弱了电子束辐照对样品的损伤,同 时也能研究材料的低温结构,最低温可以达到-178℃.

· 项目职责:拆装了市面上典型的样品杆,以及查询了很多国内外的技 术资料和专利,了解了很多别人的设计想法,最终结合自己的想法,完成了上述的设计。

五、离子源

· 项目描述:针对电子束等易产生积碳应用场景下等离子清洗设备,对SEM/TEM样品碳氢污染物进行清洗

1. 功率调节范围:0-100W;

2. 点火真空范围:3. 采用ICP诱导方式产生等离子体

· 工作职责: 调研国外同类产品,查询国内外相关技术资料和专利,完成上述设计。

工作职责:参与完成图纸绘制及输出,项目方案机械结构设计和实施,产品生产、加工中进度与质量跟踪。

工作职责:负责公司设备调试,提供技术支持,实时了解行业的变化,跟踪客户的详细数据,协助工程师为客户制定更完善的设备方案。