工作职责:
1:负责新进产品 Tapeout 流程(包括 DRC 确认,FLOW 建立等),flow 建立流程优化,梳理 flow 建立流程,建立 flow 系统化建立流程,形成 SOP;建立防呆机制——通过系统 check 客户需求与 flow 中内容一致性。创新性开发系统 check 机制,简化 flow 建立流程并完善防呆机制
2:Find a better way——MO rate 降低改善项目,MO 发生率较项目初期降低约 60%,直接和间接经济损失降低约 1000000 RBM/年
3:特定产品 MIM 电容击穿 ,通过异常确认和相关性分析,确认该产品特定位置容易在 MC 撕金过程产生静电累计导致静电击穿,通过 DOE 实验设计,彻底改善该产品异常彻底杜绝此类失效模式,直接经济效益约 1000000RMB。
4:固定产品 CP 低良改善 ,改善了通过 CP 和 WAT 电性确定相关性分析,确定异常原因为 gate length 偏小表现 Cgs 较低,从而导致器件漏电偏大 CP 低良,异常工艺制程 FEM 确认最佳工艺条件,通过 DOE 实验确定制程Window,调整特定参数SPCcontrol line,针对 Cgs 建立卡控机制,完善异常失效监控措施,大大降低此类客诉,减少经济损失约 1000000RMB
5:M2 厚金属连线 peeling ,M2 厚金属连线容易发生 peeling 现象,造成大量产品低良,通过异常确认、机台相关性分析和实验,确认异常原因:制程光阻较薄,M2金属容易与光阻产生粘连现象;M2 蒸镀机台真空度较高,金属与 wafer 表面结合立较低;M2 撕金工艺不匹配,容易造成固定区域金属 peeling。改善措施:通过降低蒸镀机台真空度;进行 M2 撕金方式 DOE 确认最佳作业条件。提高 M2 厚金属作业 window,显著降低 M2 厚金属 peeling 几率。
6:EPI 异常监控 ,因 EPI 波动异常导致的报废屡见不鲜,成立专项预防因 EPI 异常导致的批量性报废,改善汇整因 EPI 导致异常 case,分析异常类型;定期与 EPI 厂商召开会议,确认异常原因,讨论改善措施有效性,追踪改善措施落地情况;与 EPI 厂商合作改善 EPI 均匀性,主要为 DOE 实验。1完善 COA data,监控 EPI 稳定性;2.推进 EPI 厂商提升 EPI 工艺稳定性。
7:bHAST 失效改善 客户反馈指定产品存在可靠性问题,bHAST 失效 fail rate 较高,通过 inline 数据对比,FA 分析,确定与 wafer 表面状态和 sealing ring 结构有关,成果改善该异常,提高客户信心度。