1、苏州单体磁控溅射镀膜机改造项目:
一、传动系统设计;
二、水冷系统设计;
三、工装设计;
2、闵思单体磁控溅射镀膜机整改项目;
一、传动系统设计;
二、水冷系统设计;
三、工装设计;
四、防污机构设计;
3、镀铬单机磁控磁控镀膜机:
一、传动系统设计;
还传动采用电机传动,功率1.5kW三相异步电机,采用光电传感器进行位置控制,工件采用工自转结构实现360°溅射镀膜
二、水冷系统设计;
真空设备,腔体,靶材的水冷系统设计
三、工装设计;
工自转传动结构设计,强度仿真和传动计算选型
四、防污机构设计;
五、真空系统设计:
1、真空原理图绘制,真空泵的选型,分子泵型号和数量确认,前级泵根据要求选用旋片泵或扩散泵或低温泵
2、真空管道选型,根据泵的口径,确认管道直径,根据真空度要求,确实法兰型号
3、插板阀和角座阀选型,分子泵和箱体采用插板阀,和主管路采用角座阀和波纹管连接以及切断,前级采角座阀
六、水路、气路系统设计;
七、深冷钟罩结构设计;
八、挡板机构设计。
4、参与石墨烯pecvd连续式镀膜设备研发
一、传动系统设计
该传动系统主传动选用伺服电机,驱动选用闭环步进电机进行速度和位置配合,计算伺服电机惯量比和负载、步进电机负载
以及配合cvd沉积速率进行传动速度计算。
二、加热系统设计
三、腔体的部分设计
四、翻板阀结构设计
5、参与实验机小型pvd设备(1.5米直径腔体)的设备研发
1 、翻版阀的改造设计
2、传动系统设计
3、清洗棒改造设计
4、箱体改造设计