公司主要做磁控溅射等PVD设备,客户群体就是研究院、高校及企业。
职责业绩:
1、根据客户需要,独立/参与设计方案,采用Sw校核,对电缸、气缸、电机等外购件选型,主导相关人员进行会议方案确认,最后使用Caxa/CAD绘制设备总装图及零、部件图,生成Bom料表并进行投产
2、设计非标及类标设备的类型
1). 蒸发镀膜机(电子束、电阻)
2). 离子束刻蚀机
3). 磁控溅射镀膜机(含离子源/偏压清洗)
4). 射频清洗-长条靶磁控溅射一体机
3、复杂非标设备
1). 4腔体独立刻蚀机——根据客户要求可拆分为4种金属连续溅射(立式)镀膜机:一方面,通过涡轮蜗杆实现刻蚀角度调节,另一方面,通过链轮、直线轴承传动机构实现连续运动。
2). 球面闪耀光栅离子束刻蚀机——设备通过涡轮、蜗杆结构确定刻蚀入射角,然后根据滑台+转台组件完成样片球径调节,最后根据扫描面积来回摆动,实现刻蚀。
3). 生产型清洗-溅射(卧式)一体机——进样室通过伞齿轮、丝杠进行样片升降,利用链轮传动实现样品两腔室间来回传动,采用电动推杆开、闭门板,通过电缸/气缸+焊接波纹管完成清洗顶升运动。
4、个人经验
1)了解磁控溅射、离子束刻蚀、清洗等真空工艺及真空环境特性,包括通用仪器、真空密封、抽真空等;
2)熟悉链轮、直齿轮(含伞齿轮)、涡轮蜗杆传动、同步带轮、滚珠丝杆等传动机构设计,并对部分传动结构进行设计优化;
3)配合工艺研发φ160射频离子源,根据工业设计外形方案,绘制设备Discovery三维模型及平面出图;
4)负责离子束刻蚀机、蒸发镀膜机设备图纸标准化整理,包括超真空排气台(陀螺仪抽真空)图纸整理,以及非标连续溅射镀膜一体机第一版标准化图纸