职责业绩: 主要职责:
1. Oxide TFT 背板新工艺方案、工艺条件、Recipe 制定、工艺评价与分析
2. Oxide TFT 背板新靶材、新材料评估与验证,输出相关rule
3. 组织并指导科室员工开展基于 新技术、新工艺的开发工作
4. 监督并审核新技术开发的过程、结果,确保新技术开发项目的正确性与及时性
主要业绩:
1、 推动Oxide 技术推广,涵盖低碳、宽频、窄边框、高刷、高分辨等技术点路演整机Demo 制作完成,取得的客户端、会展较好的评价
2、完成技术开发流程体系建立,推动 Reverse 流程体系建立
3、作为项目PM主导高迁移率(20cm2/V·s)氧化物产品化导入,量产工艺体系建立
4、作为项目PM主导结晶高迁移率氧化物(30cm2/V·s)器件开发
5、作为项目PM主导高迁氧化物Top Gate 结构技术开发,推动高迁氧化物Top Gate 全球首次产品化