负责薄膜沉积相关技术及管理工作,包括工艺、设备、测试等,具体内容
为:
1、薄膜段相关工作,包括PVD、PECVD、ALD、IJP、RTA、oven等设备
的工艺开发、调试优化、工艺整合等及机台的使用维护、故障处理、新设备
的评估验证、人员管理培训等;
2、金属氧化物半导体材料相关研发工作,包括材料表征、工艺开发、器件
制作及测试等;
3、电镀、化学镀、超声喷涂等其它成膜技术的工艺开发及整合;
4、OM、台阶仪、UV、Hall测试、应力测试、WVTR等相关设备的管理和
使用;
5、激光修复、激光通孔、基板切割等设备的使用及工艺开发整合;
6、lift off工艺的开发及规模试产;
7、参与新技术、新工艺、新材料的开发探索工作。
项目主管
负责项目主要基于metal oxide TFT技术,涉及方向包括OLED、
MicroLED、透明显示、无边框显示、EPD等显示相关项目及lift off、TGV、
垂直结构器件、脑机接口、sensor等技术和应用相关项目,合作客户包括:
1、BOE、天马、华星光电、维信诺、国星光电、三星显示等多家头部显示
面板企业;
2、AMAT、honeywell、Denka、协力化学等多家半导体相关企业;
3、中国工程物理研究院、清华大学、北京大学、中山大学、华南师范大学
等多家高校科研院所。