在光学公司从事光学薄膜的设计和工艺优化工作
科研背景
博士期间的主要研究内容为:纳米SiC隔热材料的制备,微观结构与性能研究具体如下:
通过对冷冻干燥的方法的合理利用分别制备出具有各向同性结构和各向异性结构的刚性超高孔隙率多孔纳米
SiC陶瓷,材料具有耐高温,高强度,低热导的特点,可作为耐高温隔热材料的候选材料;
通过溶胶-凝胶配合碳热还原的方法批量合成出大长径比的SiC纳米线,并以此为基础制备出具有超高孔隙率的
柔性SiC纳米线气凝胶,材料具有良好的耐高温性能,接近空气的超低热导率和良好的柔性;
采用抽滤诱导自组装的手段使SiC纳米线在二维平面内排列,制备出SiC纳米纤维纸,材料具有极低的热导率和
良好的柔性,将其与聚乙二醇组成相变复合材料可以赋予其室温 ~ 100°C范围内的热管理性能;
通过模板法制备出SiC纳米空心球,以此为基础制备获得具有超低热导率和超高强度的多孔纳米SiC;在该研究
中还涉及到SiO2纳米空心球,C纳米空心球和稀土硅酸盐纳米空心球等的批量制备。
此外,在博士期间还参与高熵陶瓷的制备与性能表征,高强高韧Si3N4陶瓷的制备,陶瓷基复合材料界相设计与制备,
陶瓷基复合材料表面热障/环境障涂层的设计与制备等研究工作。
主要从事精密光学薄膜器件的设计及制造工艺优化工作。包括高性能荧光及拉曼滤光器件的设计、制备及性能
测试,集成电路装备用光学薄膜器件的设计及工艺优化,大尺寸非球面光学基底的一体化成型等工作。
代表性工作:
高性能多通带荧光滤光片的设计及工艺优化:提出一种新的多通带光谱设计方法,该方法具有通带位置和带宽
可控的有点,膜层总厚度较薄,并且对膜层厚度误差具有一定的容忍性;并通过合理运用不同的监控策略实现
四通带滤光片的制造。
气体检测用红外带通滤光片的设计和制造:设计了针对CO2等一系列气体检测用的带通滤光片,并针对膜系结
构的特点对不同薄膜使用不同的监控策略,成功制备了具有优异光谱性能的红外带通滤光片。
大尺寸i线椭球反射镜的设计和光谱均匀性修正:该类产品主要应用与IC装备,通过对行星式镀膜卡具运动轨迹
和膜料蒸发特点的研究,完善了薄膜厚度均匀性的修正方法。
DUV波段光学薄膜反射镜制造:设计和制造了193 nm波段的反射镜和增透薄膜,完善了氟化物薄膜的沉积工艺,
优化了膜层的残余应力情况。
深紫外宽带弧面反射镜的薄膜设计及制造:设计了能够适应不同入射角度条件的深紫外高反射薄膜,并通过行
星式卡具完成了高反射薄膜的沉积。
透镜表面深紫外宽带增透薄膜的设计及制造:该类产品主要应用于IC量测,设计了满足不同入射角度情况的增
透薄膜,解决了大角度入射时剩余反射过高、光谱偏振分离的问题,并完成了光谱均匀性修正。
主持的科研项目:
面向集成电路装备应用的DUV光学薄膜反射器件研究,沈阳市中青年科技人才培育专项,RC230252,30万元,
主持。
半导体集成电路装备应用DUV光学薄膜技术研究,中国机械工业集团青年科技基金项目,QNJJ-PY-2023-09,
40万元,主持。
基于创新方法的核酸检测多通道新型荧光滤光技术研究,沈阳市中青年科技创新人才支持计划,30万,参与。
科研成果
已发表论文:
1. Xianpeng Liang, Peng Wan, Zhen Wu, Yiming Lei, and Jingyang Wang, Light and Strong nano-SiC
Foam with Extremely Low Thermal Conductivity, Materials Letters 274 (2020) 128017.
2. Xianpeng Liang, Zhuojie Shao, Zhen Wu, and Jingyang Wang, Flexible SiC nanowire aerogels with
2 / 3
简 历
excellent thermal insulation properties, Ceramics International 48-15 (2022) 22172-22178
3. Zhen Wu, Xianpeng Liang, ZhuojieShao, Haikun Chen, Junning Li, Jingyang Wang, Highly porous
multicomponent (Hf1/3Ta1/3Nb1/3)C ultra-high temperature ceramic with low thermal conductivity.
Materialia 18 (2021) 101158
4. Zhuojie Shao, Zhen Wu, Luchao Sun, Xianpeng Liang, Zhaoping Luo, Haikun Chen, Junning Li,
Jingyang Wang, High entropy ultra-high temperature ceramic thermal insulator
(Zr1/5Hf1/5Nb1/5Ta1/5Ti1/5)C with controlled microstructure and outstanding properties. Journal of
Materials Science & Technology 119 (2022) 190 – 199
5. Xianpeng Liang*, Quan Yuan, Peng Gao, Shaopeng Ren, Yan Wang, Shuaifeng Zhao, Xiaojun Yin*
and Shuguo Fei*,Comprehensive Analysis of the Corrosion Behavior of UG1 Phosphate-Based
Ultraviolet Glass in Water Environments, Heliyon 2024, 10, e31110.
6. Chao Ban *, Peng Gao, Shaopeng Ren, Ruisheng Wang, Zhonglian Wang, Xianpeng Liang, Xiaojun
Yin and Shuaifeng Zhao, Design and manufacturing of filter sets for dual color synchronous gene
sequencing, Coatings 2023, 13, 1555.
7. Boda Zheng, Zhiji Deng, Hongwu Chen, Jie Chen, Zhichao Meng, cong Wang, Donghui Zheng,
Chuanming Su, Xianpeng Liang, Wei Xie, Guokang Jiang, Ming Liu, Fabrication of High-reliability
Silver Nanowire Transparent Film Heaters and Study of the Electromigration Failure Mechanism,
Thin Solid Film, 2024, 800, 140413.
会议和专利:
1. 3rd Sino-international Symposium on Aerogels, Changsha, Hunan, China, Oral presentation: Preparation and properties
of nano-SiC aerogel material.
2. 王京阳,吴贞,梁显鹏,邵卓杰,孙鲁超,一种超高孔隙率铪钽铌三元碳化物超高温隔热材料及制备方法,中
国发明专利,申请号: 202110073086.0.