1. OnChamber 等离子发生器 2006 – 2008
OnChamber等离子发生器是应用于半导体工业的射频电源系统。该电源主要应用于半导
体晶圆的加工。OnChamber等离子发生器由两个子系统组成:AC/DC及 DC/DC变换器
和 12/13兆赫兹射频电源。该等离子发生器的额定功率 3.5千瓦,额定效率 75%。
OnChamber等离子发生器的控制系统具备超高速的信号采集和处理能力,能够采集12/13
兆赫兹的电压和电流信号,并进行相位的调节与补偿。由于独特的 DC/DC变换器设计,
OnChamber等离子发生器具有极强的稳定性,能够稳定的电离各种气体。
作为开发团队的主要技术负责人,参与并主持了 OnChamber项目的系统结构设计,仿真
模拟和样机的开发和测试。同时,还带领应用工程师团队在客户的系统中进行了调试,并
参与客户样机系统的开发和系统集成。并将客户的意见及时反馈回研发团队,调整系统参
数。 还参与了系统软件的设计和调试。
2. ASTRON等离子发生器 2006 – 2008
ASTRON系列氟离子发生器,是广泛应用于半导体制造业中CVD 工艺腔清洗的等离子发
生器。负责开发新一代的 ASTRON等离子发生器,应用全新的调频控制,新一代的等离
子发生器具有更高的可靠性和更好的性能。作为开发团队的主要技术负责人,对该系统进
行了详细的建模和分析,通过大量的实验,系统的关键物理参数得以确定。此外,为了确
保所有产品的满足设计的规格,对系统进行了全面的公差分析,确定了合理的参数调节范
围和调节步骤,确保了产品的顺利投产。
3. R*evolution等离子发生器 2006 – 2016
R*evolution等离子体源广泛应用于半导体制造业中 CVD , ETCH 和去胶等晶圆工艺。
R*evolution是集成远程等离子体发生器,能为源晶圆工艺提供高性能和最纯净的活性气体
配方。作为开发团队的主要技术负责人,改进了上一代等离子发生器的缺点,采用了变频
控制的技术,提高了系统的可靠性。

1. 太阳能最大功率点跟踪多通道均流 DC/DC变换器 (中佛罗里达大学, AirForce公司和Apecor 公司) 2003 – 2004
本项目开发了应用于空间卫星的一套可扩展的太阳能电池电源系统。该系统能够对太阳能
电池板的最大功率进行有效的跟踪,输出28V直流电压。通过设计一套DSP数字控制系
统,该系统可以对4套以上独立的DC/DC 变换器进行控制。
参与并设计了一套独特的控制系统,开发了完备的仿真系统和1kW的样机。通过系统的调
试,成功的完成了客户的要求,并通过了现场调试。
2. 高效率单相交流工频逆变器 (中佛罗里达大学, AirForce公司和 Apecor 公司)
2004 – 2006
本项目开发了一套应用于太阳能电池和燃料电池的单相交流逆变器,将再生能源转化成工
频交流电,回馈给电网。先后开发了两套不同的系统并都采用了单级逆变器的技术。第一
套系统采用传统的移相全桥的拓扑结构,并采用模块化设计,能够同时应用在 110V和
220V的电网。第二套系统,采用了全新的零流零压调频单端反激DC/DC变换器,由于独
特的零流零压的设计,第二套系统没有任何开关损耗。作为项目的总负责人,主持并设计
了全套系统,并制作样机。并且获得了在美国电气和电子工程师学会的“2005未来能源竞
赛——工频电网逆变器”中获得“最佳创意奖”。
3. 声纳探测器用高能量密度高频逆变器(佛罗里达电力电子中心和EAI公司)
2004 – 2005
本项目开发了一套应用于声纳探测器的高频高能量密度的交流逆变器,由佛罗里达电力电
子中心与EAI公司合作开发。负责项目初始的拓扑结构设计和仿真研究,并开发了额定功
率1千瓦的样机。这台样机输出频率为1kHz的交流电压,并采用移相全桥的拓扑结构。
样机的优异性能,得到EAI公司的高度评价。
4. 微处理器电压调节器动态负载的建模和动态响应的优化(中佛罗里达大学和Intel公司)
2005 –2006
该项目是中佛罗里达大学和Intel公司合作,开发应用于未来微处理器直流电源系统。和其
他科研人员合作开发了一套为微处理器独立供电的 DC/DC转换器,以满足微处理器所需
要的低压大电流以及负载动态响应的要求。该系统解决了传统电源无法满足未来高性能计
算机的难题。参与了系统建模,样机制作以及调试。
5. 高效率的并联后置电压调节器 (中佛罗里达大学和Intel公司) 2005 –2006
该项目是中佛罗里达大学与 Intel 公司合作,针对输入电压范围比较宽的 DC/DC
变换器而设计的并联后置电压调节器,以提高整体的系统效率。通过后置电压调
节器,主 DC/DC 变换器实现了原边开关恒定 50%的占空比,并且实现了零压开
关,同时减少了副边主整流二极管的开关应力和开关损耗。此外,由于恒定的
50%占空比,输出和输入滤波器的设计得以极大的简化。除了原理设计和系统仿真之
外,还设计并制作了输入电压 250~400Vdc,输出电压 12V/40A,额定功率 250W的样
机。 样机通过了Intel公司的验收,并得到好评。

1. 三相大功率高稳定性功率因数校正系统(20千瓦)
在这个项目中,开发了一套大功率三相功率因数校正系统。它能够对三相交流电进行整流
的同时并对功率因数进行有效的校正。这套系统应用了 12相自耦变压器和单相功率因数
校正技术,成功的将三相功率因数校正到 0.99。该系统的独特之处在于对负载突变有着非
常好的动态响应,因为12相自耦变压器对95%的负载能量进行功率因数校正,而单相功
率因数校正器只对剩余的5%的负载能量进行功率因数校正。独立制作了三相20kW的12
相自耦变压器控制电路,而且进行了系统调试和实验。
2. 10千瓦软开关功率因数校正系统
在本项目中,开发了一套 10kW应用于中功率电焊机的单相功率因数校正器。它采用了零
压开关的Boost电路,应用了单相功率因数校正的技术,并将其应用于三相功率因数校正
的系统上。简单的方法将原来的功率因数从 0.75提高到 0.95。先后开发了主电路和控制
电路,并成功的进行了系统调试。