1、 日常中试线生产维护
2、 相关机台的日常点检
3、 N型项目实验跟踪、实验结果整理,报告说明
工作成绩:
机台工艺使用验证(初期)
1、硼扩:TEMPRESS五管炉管工艺验证使用,北方华创三根炉管验证中(华创机台已停用)
2、磷扩:捷佳伟创五管炉管工艺验证使用,北方华创二根炉管验证中(华创机台已停用)
3、边缘隔离:至圣工业&中电48所新机器效率验证
4、ALD:理想、solaytec氧化铝镀膜验证使用(solaytec已停用)
5、PECVD:捷佳伟创308及416氮化硅镀膜验证使用
产线异常改善
1、硼扩粘片:方阻测试,效率验证
2、EL石墨舟印:通过对石墨舟进行管控及作业前处理将比例从10%+降至低于0.4%
3、PECVD工艺背面色差:加快沉积速率,完全解决
4、EL五孔黑斑: ALD石墨框变形,完全解决
提产项目
1、硼扩工艺优化,在不降低效率或效率降低较少情况下,由一管4h15min降低到3h30min,产能提高17.64%,目前在验证由3h30min降低到3h
2、PECVD工艺优化,在不降低效率或效率降低较少情况下,正面由一管3810s降低到3595s,产能提高5.6%,背面由一管1995s降低到1931s,产能提高3.2%
提效项目
1、硼扩:A:工艺优化后(降低掺杂浓度),效率提升0.18%,后续还待持续验证,
2、ALD:工艺优化(沉积速度、膜厚),进行中
3、PECVD:正面工艺由单层膜改成三层膜,效率提升0.03-0.06%后续还待持续验证,背面工艺由双层膜改成三层膜,效率提升0.05-0.07%,已切成BSL