完成扩散PECVD四十八所、捷佳伟创设备复产,恢复一、二、三、四期设备正常运行,5月中旬完成出片计划;
5月完成设备备件的采购,备品备件的数据核对更新;
6月份完成扩散、PECVD设备维护保养作业指导书的制定,设备日常点检表单制定;
7月份完成对设备维护作业指导培训,设备操作培训,设备安全培训;
9月完成制定所有多晶156.75切换158.75工装夹具的图纸,并确认以及确认机台的使用状态
10月完成新石英舟、石墨舟与自动化的点位校准。调试其他工装夹具在机台运行状态;
11月完成对扩散、PECVD设备维护保养作业指导书变更维护保养注意事项,新增执行标准,细化维护保养作业内容的细化完善制定,设备日常点检表单完善制定。