工作职责和业绩:
1)负责设备Move in/安装/调试,处理Move in/安装/调试期间相关Issue(如进度Delay、Move in协调、镀膜异常、数据异常分析等),确保设备在规定时间内验收达标;
2) 担任PVD破片专案负责人,负责解决Sputter设备硬体部分相关破片改造项目(Clamp/Pin/Robot);
3) 担任PVD设备ESD专案负责人,负责改善ESD相关Issue(静电接地改造/清洗机Roller改造);
4) 担任PVD工艺负责人,负责工艺参数优化,Particle改善,新产品导入,通过优化工艺参数提升良率&产量;